MõlemadVaakumpump ja kompressoron gaasi töötlemise seadmed, kuid nende tööpõhimõtted ja rakenduse ulatus on erinevad.
Vaakumpumba peamine funktsioon on gaasi eemaldamine reaktsioonikambrist, et vähendada mahuti rõhku etteantud vaakumkraadi saavutamiseks. Gaas ekstraheeritakse ruumist imemise ja väljalaskeava mehhanismi kaudu, et moodustada vaakumseisund. Vaakumpumpasid kasutatakse tavaliselt laborites, tootmis- ja tootmisvaldkonnas. Vahvli Fabs, söövitusseadmete, sadestusseadmete, EUV -litograafiaseadmete, ioonide implantatsiooniseadmete, tuvastamise ja iseloomustamisseadmete jms. Kõik tuleb tolmuimeda.
Kompressori funktsioon on gaasi sissehingamine ja surumine, gaasi rõhk suurendamine, suruge gaasi väiksemaks mahuks ja suurendage gaasi tihedust ja rõhku. Selle tööpõhimõte on gaasi kokkusurumine läbi väljalaskeventiili ja seejärel panna surugaasi bensiinipaaki või muusse seadmesse. Kompressoreid kasutatakse tavaliselt töötlemis- ja tootmisväljadel. CDA -gaasi, millest sageli räägime, pakub kompressor. CDA -d kasutatakse erinevate automatiseerimisseadmete ja ventiilide juhtimiseks. Pooljuhtide tootmiseks peab CDA olema väga puhas ja kuiv. Kompressori õhk väljund peab läbima keeruka filtreerimissüsteemi, et eemaldada õli, niiskus ja muud osakesed, et veenduda vahvli saastumisel.
Millised on kategooriadVaakumpump ja kompressor?
Pooljuhtide seadmetes kasutatakse tavaliselt kuiva pumba ja molekulaarseid pumbasid. Kuiv pump viitab vaakumpumbale, mis ei kasuta tihendus- või jahutusvahendina vedelikku, vältides õli auru saastumise probleemi. Seda kasutatakse tavaliselt pooljuhtide seadmete töötlemata vaakumiekstraheerimiseks. Molekulaarsed pumbad võivad saavutada äärmiselt kõrge vaakumitaseme. Kuivaid pumbasid ja molekulaarseid pumbasid kasutatakse pooljuhtide seadmetes sageli koos erinevate vaakumtasemete vajaduste rahuldamiseks.
Kompressoreid saab jagada kolvi, kruvi, tsentrifugaaliks, pöörlevate labade õhukompressoriteks jne.
Vaakumpumba ja kompressori erinevate kujunduste ja tööpõhimõtete tõttu ei saa vaakumpumbad tavaliselt kompressoreid asendada. Ehkki vaakumpumbad võivad vähendada gaaside rõhku ja tihedust, ei saa need gaase väiksemateks mahtudeks ja kõrgemateks rõhkudeks suruda. Lisaks sobivad need vaakumpumpade piiratud jõudluse ja tööomaduste tõttu kõige paremini madala tihedusega gaaside ja madalrõhukeskkondade käitlemiseks.
Seega, kui gaas tuleb suruda väiksemaks mahuks ja kõrgemaks rõhuks, tuleks kasutada kompressorit. Vastupidi, kui gaasi on vaja ekstraheerida ja moodustada vaakumseisund, tuleks kasutada vaakumpumpa.
Kuigi mõlemadVaakumpump ja kompressoron gaasi töötlemiseks kasutatavad seadmed, disaini- ja tööpõhimõttes on suuri erinevusi. Kuigi vaakumpump võib vähendada gaasi rõhku ja tihedust, ei saa see kompressori asendada, eriti kui gaas tuleb suruda väiksemaks mahuks ja kõrgemaks rõhuks.
